前級(jí)泵和后級(jí)泵有些差別,后級(jí)泵的泵腔比前級(jí)泵大,這是因?yàn)楸玫某樗僦饕獩Q定于后級(jí)泵的有效幾何容積。另外,前級(jí)泵和單級(jí)旋片泵一樣,隨時(shí)有油進(jìn)入泵腔;而后級(jí)泵僅在開始工作時(shí)有少量的油,工作一段時(shí)問后,便沒有油進(jìn)入泵腔了,這是因?yàn)楹蠹?jí)沒有專門的油路。這樣做并不會(huì)影響后級(jí)泵的性能,因?yàn)槌闅鈺r(shí)間一長(zhǎng),后級(jí)泵進(jìn)氣口的壓強(qiáng)大大下降,而它的出口壓強(qiáng)也很小,進(jìn)出口的壓強(qiáng)差不大,被壓縮氣體級(jí)縫隙返流的量很少,同時(shí),在真空度較高的情況下,縫隙的流阻較大,雖然沒有油密封,但返流的氣體量也很少。相反,有如下好處:可以避免泵油把氣體和蒸氣帶進(jìn)后級(jí)進(jìn)氣口,從而大大地降低了殘余氣體的分壓強(qiáng);同時(shí),由于后級(jí)泵中油的輕餾分不斷地被前級(jí)泵抽走,殘余的油蒸氣分壓強(qiáng)也降低了,這就使泵的極限真空得到了提高。氣分壓強(qiáng)也降低了,這代使泵的極限真空得到了提高。