隔膜式真空閥是利用閥桿將橡膠隔膜直接壓在閥座上。用來截止或接通氣流。它常裝在被抽容器與各種低真空泵之間。其動作原理是旋轉(zhuǎn)手柄使閥桿向下運動，將橡膠隔膜直接壓在閥座上，截止氣流。反方向旋轉(zhuǎn)手輪，閥桿向上運動，帶動橡膠隔膜離開閥座.接通氣流。閥門主體采用鋁合金鑄造。結(jié)構(gòu)簡單、質(zhì)雖輕、體積小，密封性能良好。采用丁腈橡膠的隔膜真空閥，用于前級和預(yù)抽低真空管道上及溫度-25~80℃的非腐蝕性氣體.采用氟橡膠的隔膜真空閥，可用于高真空系統(tǒng)，使用溫度范圍為-30~150℃.
我國生產(chǎn)的隔膜真空閥，已有系列產(chǎn)品公稱通徑分別為10mm, 25mm, 40mm, 50mm,其中GM型高真空隔膜周有GM型、GMC型、GM-KF型、GM-D-H (I)型, GM-D-H (Ⅱ)形五種，區(qū)別在于閥門的連接法蘭的形式。
